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はじめてのMEMS

紙版

東北大学教授工学博士江刺正喜 (著)

定価 ¥ 2,750

ページ232

判型A5

ISBN978-4-627-78491-8

発行年月2011.03

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内容

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正誤表

MEMS（微小電気機械システム）の応用分野が拡大している．従来の自動車，家電，情報通信機器から，最近は製造装置，科学機器，医療福祉機器などにも採用されている．本書は，MEMSの世界的権威である著者が，MEMSの基礎から製作，要素，応用までをわかりやすく解説した入門書である．

第1章マイクロマシーニングとMEMS
第2章 MEMSの製作
第3章 MEMSの要素
第4章 MEMSの応用

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