はじめての薄膜作製技術 ［第2版］

CPUやメモリなどの半導体からお菓子の袋や窓ガラスまで，薄膜作製技術は現代の生活に欠かせない重要な基盤技術となっています．しかし，その内容は未だに体系的に構築されておらず，現場技術者の経験と勘に頼ることが多くなっています．本書は，そのような薄膜デバイス作製の現場で使われている各種手法を，できるだけ学術的かつ体系的に理解できるようにくわしく説明しました．薄膜特有のナノレベルの物性や，薄膜作成に欠かせないプラズマ物理などが，わかりやすく説明されています．