書籍情報

これからのMEMS

LSIとの融合

東北大学教授工学博士江刺 正喜(共著) 東北大学教授博(工)小野崇人(共著)

  • ¥2,808
  • 160ページ
  • 978-4-627-77551-0
  • 2016.06

書籍のカテゴリー

  • 電気・電子工学

    電子・半導体工学

  • 電気・電子工学

    メカトロニクス

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MEMSはシーズからニーズの時代へ.

MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し,大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編です.

情報処理を担う集積回路にMEMSを組み合わせるヘテロ集積化技術で,これまで以上に高機能なデバイスやセンサが可能になり,「次世代携帯機器」「センサネットワーク」「光マイクロシステム」「バイオ・医療」「製造・検査」などをはじめとするMEMSの幅広い応用が期待されています.

本書では,そうした応用やニーズ面,開発の実際などをおもに取り上げ,具体的に解説しています.

これからMEMS技術を取り入れたいと考える技術者・研究者が,MEMSの概要や現状を学ぶのに最適な1冊です.

第1章 ヘテロ集積化(MEMSとLSIの融合)
第2章 次世代携帯機器
第3章 センサネットワーク・高機能センサ
第4章 光マイクロシステム
第5章 バイオ・医療用マイクロシステム
第6章 製造・検査装置
第7章 高度化と有効活用への道

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