書籍情報

はじめてのMEMS

東北大学教授工学博士江刺 正喜(著)

  • ¥2,700
  • 232ページ
  • A5
  • 978-4-627-78491-8
  • 2011.03

書籍のカテゴリー

  • 電気・電子工学

    電子・半導体工学

  • 電気・電子工学

    メカトロニクス

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MEMS(微小電気機械システム)の応用分野が拡大している.従来の自動車,家電,情報通信機器から,最近は製造装置,科学機器,医療福祉機器などにも採用されている.本書は,MEMSの世界的権威である著者が,MEMSの基礎から製作,要素,応用までをわかりやすく解説した入門書である.

第1章 マイクロマシーニングとMEMS
第2章 MEMSの製作
第3章 MEMSの要素
第4章 MEMSの応用

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