書籍情報

はじめての薄膜作製技術 [第2版]

金沢工業大教授博(工)草野 英二(著)

  • ¥2,700
  • 176ページ
  • 978-4-627-77452-0
  • 2012.11

書籍のカテゴリー

  • 電気・電子工学

    電子材料・物性

  • 化学

    化学工学

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CPUやメモリなどの半導体からお菓子の袋や窓ガラスまで,薄膜作製技術は現代の生活に欠かせない重要な基盤技術となっています.しかし,その内容は未だに体系的に構築されておらず,現場技術者の経験と勘に頼ることが多くなっています.本書は,そのような薄膜デバイス作製の現場で使われている各種手法を,できるだけ学術的かつ体系的に理解できるようにくわしく説明しました.薄膜特有のナノレベルの物性や,薄膜作成に欠かせないプラズマ物理などが,わかりやすく説明されています.

第1章 薄膜とは
第2章 薄膜作製技術の基礎
第3章 真空蒸着法
第4章 スパッタリング法
第5章 化学気相成長法
第6章 薄膜の評価技術
第7章 薄膜作製技術の応用

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